Appellation

Type

Spectre*

Mode
d’étalement

Propriétés

Développeur et stripeurs associés

gL2000

positive

e-beam

tournette

- Haute vitesse, haute résolution

- Développement haute résolution disponible

- Haute résistance à la gravure sèche (> au PMMA)

gL developer

gL rinse

gL remover

SAL 601HSR7

négative

e-beam

tournette

- Temps d’écriture réduit (haute sensibilité)

- Résolution jusqu’à <0,1µm

- développement aqueux

Microposit MF-322 developper