Appellation
Type
Spectre*
Mode d’étalement
Propriétés
Développeur et stripeurs associés
PDF
PMMA / Copolymer
positive
E-beam, DUV, X-ray
tournette
Développeur MIBK/IPA (1:1 ; 1:2, 1:3)MIBK pur
SAL 601HSR7
négative
e-beam
Microposit MF-322 Developper